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　　8測量結(jié)果計(jì)算

8.1直接讀數(shù)的測量儀，對分立點(diǎn)式測量，選出t1、t2、t3、t4、t5中最大值和最小值，然后求其差值；對掃描式測量，由厚度最大測量值減去最小測量值，將此差值記錄為總厚度變化。

8.2倘若儀器不是直接讀數(shù)的，對每個(gè)硅片要計(jì)算每對位移值a和b之和，同時(shí)，檢查和值，確定最大和最小值。根據(jù)下列關(guān)系計(jì)算總厚度變化（TTV) :


9精密度

通過對厚度范圍360μm-500μm，直徑76.2mm±0.4mm，研磨片30片，拋光片172片，在7個(gè)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行了循環(huán)測量。

　9.1非接觸式測量

9.1.1對非接觸式厚度測量，單個(gè)實(shí)驗(yàn)室的2。標(biāo)準(zhǔn)偏差小于5.4μm，多個(gè)實(shí)驗(yàn)室的精密度為±0.7%。

9.1.2對非接觸式總厚度變化（TTV)測量，單個(gè)實(shí)驗(yàn)室的2。標(biāo)準(zhǔn)偏差掃描法小于3.8μm，分立點(diǎn)式小于4.9µm；多個(gè)實(shí)驗(yàn)室間的精密度掃描法為±19%，分立點(diǎn)式為±38%。

　9.2接觸式測量

9.2.1對于接觸式厚度測量，單個(gè)實(shí)驗(yàn)室的2。標(biāo)準(zhǔn)偏差小于4.3μm，多個(gè)實(shí)驗(yàn)室間的精密度為±0.4%。

9.2.2對于接觸式總厚度變化測量，單個(gè)實(shí)驗(yàn)室的2a標(biāo)準(zhǔn)偏差小于3.6μm，多個(gè)實(shí)驗(yàn)室間的精密度為±32%。

　10試驗(yàn)報(bào)告

試驗(yàn)報(bào)告應(yīng)包括下列內(nèi)容：

a)試樣批號、編號；

b）硅片標(biāo)稱直徑；

c)測量方式說明；

d)使用厚度測量儀的種類和型號，

e)中心點(diǎn)厚度；

f)硅片的總厚度變化；

g）本標(biāo)準(zhǔn)編號；

h）測量單位和測量者；

i）測量日期。