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 長三角一體化發(fā)展，龍泉邁出新步伐。1月7日，總投資超5億元的大面積平板PECVD高端裝備項(xiàng)目在上海市松江區(qū)的上海—龍泉“飛地”首次投入運(yùn)行，標(biāo)志著未來已來科技集團(tuán)填補(bǔ)了我國大面積非晶硅高端制造裝備領(lǐng)域的空白，打破了國外同類產(chǎn)品長期壟斷的局面，對加快我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有里程碑式的意義。

在項(xiàng)目放電運(yùn)行現(xiàn)場，未來已來科技集團(tuán)負(fù)責(zé)人馬玉軍向大家介紹了項(xiàng)目相關(guān)情況。據(jù)了解，該集團(tuán)研發(fā)的團(tuán)簇型PECVD高端裝備廣泛應(yīng)用于芯片制造、OLED柔性屏、高效光伏電池、高精雷達(dá)、激光武器等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，此前我國只能采取進(jìn)口方式購買此類設(shè)備。在中美貿(mào)易摩擦大背景下，美方嚴(yán)格管制出口中國關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備，集團(tuán)歷經(jīng)上千個(gè)日夜攻堅(jiān)克難，完全掌握了團(tuán)簇型PECVD高端裝備的核心技術(shù)和知識產(chǎn)權(quán)，項(xiàng)目投產(chǎn)后將有助于我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)型升級。

近年來，我市攜手發(fā)達(dá)地區(qū)協(xié)作區(qū)域發(fā)展“飛地經(jīng)濟(jì)”，實(shí)現(xiàn)跨區(qū)域資源的互補(bǔ)互換。大面積平板PECVD高端裝備項(xiàng)目運(yùn)行后，將按照“研發(fā)在滬、生產(chǎn)在龍、總部在龍”的定位，利用上海的人才優(yōu)勢和平臺優(yōu)勢，發(fā)揮浙江龍泉經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)的土地空間優(yōu)勢和扶持政策優(yōu)勢，加快在龍泉實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化落地，帶動(dòng)我市高端制造產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展壯大。