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近日，捷佳偉創(chuàng)常州HJT中試線成功研發(fā)出具有行業(yè)先進(jìn)水平的射頻(RF)微晶P工藝，微晶P薄膜沉積速率超過2埃/秒，同時(shí)晶化率穩(wěn)定在50%以上。常州中試線制備的基于雙面微晶的12BB異質(zhì)結(jié)電池平均效率達(dá)到25.1%（德國(guó)ISFH（哈梅林）標(biāo)準(zhǔn)），電池良品率穩(wěn)定在98%以上。

射頻(RF)微晶P的高速高質(zhì)量沉積，一直是困擾異質(zhì)結(jié)大產(chǎn)能板式PECVD的技術(shù)難點(diǎn)，通過本次技術(shù)突破，捷佳偉創(chuàng)的大產(chǎn)能射頻板式PECVD預(yù)計(jì)將比市面上主流設(shè)備減少1-2個(gè)微晶P腔體。射頻(RF)微晶P設(shè)備工藝均勻性達(dá)到6%以內(nèi)，穩(wěn)定性和重復(fù)性均在中試線量產(chǎn)設(shè)備上得到充分驗(yàn)證，達(dá)到行業(yè)先進(jìn)技術(shù)水平。

一直以來，捷佳偉創(chuàng)在積極推進(jìn)HJT的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。公司在濕法設(shè)備、PECVD/CAT-CVD、PVD/RPD/PAR、絲網(wǎng)印刷/銅電鍍/新型組件焊接設(shè)備方面進(jìn)行深入研究，具備HJT電池整線交鑰匙工程的能力。公司近期已中標(biāo)全球頭部光伏企業(yè)量產(chǎn)型HJT整線訂單，標(biāo)志著公司在HJT全路線裝備和工藝技術(shù)上取得突破，獲得市場(chǎng)及客戶認(rèn)可。

此次射頻(RF)微晶P高速率高晶化率工藝取得突破，進(jìn)一步增強(qiáng)了公司在HJT設(shè)備領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。捷佳偉創(chuàng)始終堅(jiān)持實(shí)干與創(chuàng)新為一體，堅(jiān)持“逢山開路，遇河架橋”的創(chuàng)新精神，積極改革設(shè)備技術(shù)、持續(xù)擴(kuò)大研發(fā)范圍，為光伏行業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展注入生生不息的源動(dòng)能。 

原標(biāo)題：射頻(RF)微晶P高速率高晶化率鍍膜，大產(chǎn)能異質(zhì)結(jié)PECVD提效降本之路