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制造工藝

TOPCon太陽(yáng)能電池技術(shù)最好的一點(diǎn)是，制造工藝與PERT太陽(yáng)能電池非常相似，制造商只需進(jìn)行少量投資即可升級(jí)其現(xiàn)有生產(chǎn)線(xiàn)。大多數(shù)制造設(shè)備可以保持不變。這使得TOPCon太陽(yáng)能電池成為市場(chǎng)上已有的PERC / PERT光伏組件制造商的絕佳投資。

1、制造TOPCon太陽(yáng)能電池的第一步是通過(guò)使用氫氧化鉀（KOH）去除c-Si晶片切割過(guò)程中的鋸損傷來(lái)化學(xué)紋理化晶圓表面。

2、清潔晶圓后，使用擴(kuò)散法通過(guò)施加三溴化硼（BBr）在電池正面形成，但隨后通過(guò)施加硝酸和氫氟酸（HF/HNO）去除背面，并通過(guò)濕化學(xué)浸漬產(chǎn)生超薄氧化層。

3、為了生長(zhǎng)nPoly-Si層，通過(guò)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）工藝生長(zhǎng)磷摻雜的非晶硅（n-a-Si：H）層。然后在900ºC退火后將其轉(zhuǎn)化為nPoly-Si層。+ +

4、進(jìn)一步清潔太陽(yáng)能電池，并通過(guò)PECVD施加鈍化和涂層。

5、最后，通過(guò)絲網(wǎng)印刷將銀/鋁觸點(diǎn)涂覆為金屬化，使用最高溫度為760ºC的快速燒制方法進(jìn)行金屬化。

制造TOPCon太陽(yáng)能電池后，進(jìn)行I-V太陽(yáng)能電池曲線(xiàn)表征以評(píng)估其性能。

工藝流程圖
原標(biāo)題：TopCon電池的工藝流程